《科创板日报》10月23日讯（记者吴旭光）10月22日晚间，芯源微发布三季度功绩公告称，本年前三季度，该公司营收约11.05亿元，同比减少8.44%；收场净利润约1.08亿元，同比减少51.12%；收场扣非净利润约0.40亿元，同比减少77.97%。

　　其中，本年第三季度，芯源微收场贸易收入4.11亿元，同比下落19.55%；包摄于上市公司股东的净利润3150万元，同比下落62.74%。

　　关于功绩变化，芯源微暗意原因包括该公司短交验周期订单与长交验周期订单漫衍不均匀，导致分季度收入存在一定波动；加大前谈Track、前谈化学清洗等研发干与；该公司职工东谈主数增长、股份支付分担等，导致科罚用度、销售用度同比大幅加多。

　　芯源微主贸易务波及半导体专用开发的研发、出产和销售，家具包括涂胶机、显影机、喷胶机等。字据该公司最近一期财报裸露的主贸易务收入组成为：光刻工序涂胶显影开发为62.09%，单片式湿法开发为34.95%，其他(补充)为2.19%，其它开发为0.77%。

　　关于该公司新一代超高产能涂胶显影机FTEX的产业化阐述，芯源微暗意，现在超高产能FTEX机台在颐养野心和单位测试等研发阐述顺利，其将快速鼓吹超高产能涂胶显影机的考据和产业化过程。

　　《科创板日报》记者审视到，比年来，芯源微在牢固主业阛阓上风的同期，还布局了化学清洗、临时键合及解键合等规模。

　　证实期内，芯源微首台化学清洗机KS-CM300机台发机。据悉，KS-CM300单片式化学清洗机是芯源微自主研发的首款高端开发，适用于Pre-deposition、Post-thinfilm、Post-etch等多种工艺，机台所用高温SPM清洗工艺被业界公以为对28nm/14nm制程性能条件最高的工艺之一。

　　需要审视的是，10月22日晚间，芯源微发布公告称部分募投技俩延期。

　　芯源微称，统一现在该公司募投技俩标骨子设立情况和投资过程，将IPO首发募投技俩“高端晶圆处理开发产业化技俩（二期）”的预定可使用情景时辰，由2024 年12月8日调整到2026年12月8日。

　　关于技俩延期原因，芯源微暗意，字据该公司举座权术， 2023年4月，其将技俩引申场合由“辽宁省沈阳市浑南区彩云路1号”变更至“北至权术路海角社区 免费视频，南至立异路，西至沈本大街，东至沈本一街地块”，在募投技俩引申场合变更等身分影响下，形成上述技俩研发周期延长。